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氧化鋁陶瓷刻蝕環
  • 氧化鋁陶瓷刻蝕環
產品名稱

氧化鋁陶瓷刻蝕環
加工精度 0.01mm
是否定制 按圖紙定制
粗糙度 0.1μm
材料成分 氧化鋁陶瓷
我要定制 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！
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    氧化鋁陶瓷刻蝕環是半導體干法刻蝕設備中的核心耗材，憑借材料特性成為晶圓加工的關鍵保障。其耐高溫與抗等離子體腐蝕能力尤為突出：在 1300℃以上的刻蝕環境中，95% 純度的氧化鋁陶瓷仍能保持結構穩定，可耐受氟基、氯基等強腐蝕性等離子體沖刷，使用壽命較金屬環延長 3-5 倍，大幅降低設備停機更換頻率。

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