先進(jìn)陶瓷在半導(dǎo)體設(shè)備零部件中的價(jià)值占比約為16%，屬于核心關(guān)鍵零部件。這些零部件技術(shù)壁壘和加工難度極高，主要應(yīng)用在刻蝕、薄膜沉積、光刻和氧化擴(kuò)散等設(shè)備中。由于陶瓷具有高硬度、高彈性模量、高耐磨、高絕緣、耐腐蝕、低膨脹等優(yōu)點(diǎn)，因此在半導(dǎo)體設(shè)備中發(fā)揮著重要作用。  

    半導(dǎo)體制造設(shè)備中使用了大量的精密陶瓷部件，這些陶瓷部件具有高硬度、高彈性模量、高耐磨、高絕緣、耐腐蝕、低膨脹等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體設(shè)備中，如硅片拋光機(jī)、外延/氧化/擴(kuò)散等熱處理設(shè)備、光刻機(jī)、沉積設(shè)備，半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備和離子注入機(jī)等。 &nbs

    在陶瓷表面通過(guò)技術(shù)手段附著上一層特殊涂層后，使半導(dǎo)體陶瓷的性能發(fā)生變化，目前這種工藝在半導(dǎo)體制品生產(chǎn)過(guò)程中已經(jīng)非常廣泛。例如用于顆粒污染控制的紋理陶瓷涂層。對(duì)于靜電夾盤，噴涂氧化鋁涂層用作電極上的絕緣層，這些電極已嵌入單片氧化鋁夾盤中。覆蓋在電極上的絕

   在半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，材料的耐高溫、絕緣性以及耐腐蝕性等特性至關(guān)重要。陶瓷零部件由于自身特殊的性能優(yōu)勢(shì)，在眾多材料中脫穎而出，已然成為眾多設(shè)備不可或缺的關(guān)鍵組成部件。其在不同設(shè)備當(dāng)中的應(yīng)用，可以根據(jù)各類設(shè)備所具備的功能模塊來(lái)進(jìn)行細(xì)致劃分： 一、刻蝕