半導(dǎo)體設(shè)備末端執(zhí)行器 半導(dǎo)體設(shè)備末端執(zhí)行器是半導(dǎo)體制造設(shè)備中直接與晶圓（或其他半導(dǎo)體元件）接觸并執(zhí)行特定操作的關(guān)鍵部件，位于機(jī)械臂或運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的末端，其功能類似于人類的 “手”，負(fù)責(zé)完成晶圓的搬運(yùn)、定位、加工輔助等任務(wù)。它的設(shè)計(jì)精度、可靠性和潔凈度直接